About DoKS      NL  |  EN Search:
  Starts with (bv. psycholog*)    Exact wordgroup (bv. "Visual Basic")
 
Home
Administration
Authors
Departments
Help
Years
 


1.062 theses on-line.
Most popular theses:
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
   
 More... 



Open Archives Initiative
Home

Ontwikkeling van een professioneel data-analysepakket voor de microvierpuntsprobe (M4PP)

2012
WIJNEN, Robin
Master in de industriŰle wetenschappen: Elektronica-ICT

Trefwoorden:

Abstract :
In onze moderne leefwereld staat de technologische vooruitgang niet stil. De halfgeleiderindustrie
investeert continu in het ontdekken van nieuwe fabricageprocessen
(die minder ruimte vereisen) en van nieuw halfgeleidermateriaal (dat sneller reageert).
Een belangrijke karakteristiek binnen halfgeleidermateriaal is de analyse van het zogenaamde
ladingsdragersdiepteproel. Dit is van cruciaal belang bij het ontwikkelen van
nieuwe hoogtechnologische transistoren. Dit diepteproel geeft het aantal vrije ladingsdragers
(elektronen of gaten) per cm│ weer ten opzichte van de diepte in het gemeten
monster. Om dit proel op te meten kunnen verschillende technieken en methoden
worden gebruikt waaronder de microvierpuntsmeetprobe (M4PP).
De M4PP is een elektrische meettechniek die nauwkeurige metingen mogelijk maakt
van de laagweerstand (sheet resistance) van zeer dunne (sub-100 nm) halfgeleiderlagen
die zich bevinden op een substraat met tegengestelde dopering (n- of p-type). Met
behulp van deze gemeten laagweerstand versus dieptepositie (langs een afgeschuind oppervlakte)
kan mits de nodige tussenstappen een ladingsdragersdiepteproel berekend
worden. In 2010-2011 werd een eerste versie van een softwarepakket Tivoli ontwikkeld
en ge´mplementeerd zodat de gegenereerde meetbestanden afkomstig van de M4PP
konden ingelezen en geanalyseerd worden.
Het doel van deze masterproef omvat de verdere ontwikkeling en verbetering van
de eerste versie van het softwarepakket Tivoli. Hierbij werd aandacht besteed aan: de
verdere uitbreiding van het smoothingalgoritme, het beter uitlteren van meetdata, het
uitbreiden van de Graphical User Interface (menu's, instellingen, werkbalken, manipulatie
kolommen in tabellen, ...), het ontwikkelen van een grasche overlaymodule (met
twee y-assen) en het toevoegen van de mogelijkheid tot printen van de gegenereerde
proelen (naar PDF of fysieke printer). Waar nodig werden hiertoe nieuwe klassen
aangemaakt (afgeleid) of bestaande uitgebreid. Ook werd het geheel achteraf getest.
Het uiteindelijk ontwikkelde softwarepakket is in staat om meetdata afkomstig van
de M4PP in te lezen, te lteren en om alle nodige diepteproelen (van verschillende
materialen) te genereren. Hierna kunnen de verschillende proelen via de overlaymodule
over elkaar gelegd en vergeleken worden. Men kan vervolgens de proelen ook
exporteren of printen met de nodige extra meetinformatie bovenaan de pagina.
Omwille van de gebruiksvriendelijkheid werkten we vanuit een User Centered De-
sign proces (UCD). Na het vastleggen van de gebruiksvoorwaarden waren er tijdens
de ontwikkeling van het pakket feedbacksessies waarin de nodige aandachtspunten en
problemen werden vermeld.
Voor de ontwikkeling van het softwarepakket is er gebruik gemaakt van de programmeertaal
C++ in combinatie met de klassenbibliotheken Qt en Qwt (Qt Widgets
for Technical Applications ). Door deze combinatie is het programma bruikbaar op
verschillende besturingssystemen en kan er op een gemakkelijke manier aan de noden
van de gebruiker worden voldaan.
De nieuwe versie van het softwarepakket Tivoli zorgt voor een vlottere analyse van
de meetgegevens afkomstig van de M4PP zodat de ladingsdragersdiepteproelen in
slechts enkele minuten kunnen gegenereerd worden. Op basis van deze proelen zullen
vervolgens nieuwe state of the art transistoren kunnen ontwikkeld worden.

Full text:
File Size Type Checksum
200700292_12.pdf 3 MB Adobe PDF MD5

Dit eindwerk werd 1587 keer bekeken en 6 keer gedownload.
Translate to English (Google translate)
 

Details

show ETD - Dublin Core

If you want to cite this thesis in your own thesis, paper, or report, use this format (APA):

WIJNEN, R. (2012). Ontwikkeling van een professioneel data-analysepakket voor de microvierpuntsprobe (M4PP). Unpublished thesis, Xios, TIW.
Retrieved from http://doksxios.pxl.be/doks/do/record/Get?dispatch=view&recordId=Sxhl8ae680b43c26317b013c8656716101f6.




©2004-2005 - XIOS Hogeschool Limburg - webmaster - Contact